[发明专利]自动化手臂更换机构

说明书

本发明是一种自动化手臂更换机构，其包含一放置装置及一机器手臂装置，该放置装置包含放置夹爪单元的多个承载单元，以及承载单元具有磁吸件、位移活动空间及衔接感测组，该机器手臂装置具有一运动单元及受控于该运动单元的一手臂单元，该手臂单元可选择性地自动组接该放置装置的夹爪单元，该手臂单元具有可通过该磁吸件磁吸带动而位移的锁扣件，通过锁扣件是否被磁吸而形成解锁、上锁状态，并通过该衔接感测组感测，该自动化手臂更换机构可依据待输送的晶圆尺寸，让该手臂单元自动结合适当的夹爪单元，故便利性佳且适用性佳。

技术领域

本发明是一种自动化手臂更换机构，尤指可让手臂自动结合牙叉的自动化手臂更换机构。

背景技术

晶圆是采用专用机进行输送，而专用机采用吸取装置吸取晶圆，且依据不同尺寸的晶圆需要分别配置适合的专用机，即单一专用机的吸取装置无法适用于不同尺寸的晶圆，因此目前专用机的适用性不佳，无法满足产业的需求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自动化手臂更换机构，借此改善目前专用机的适用性不佳的问题。

为达成前揭目的，本发明的自动化手臂更换机构包含：

一放置装置，其包含一放置架、多个承载单元及多个夹爪单元，该多个承载单元间隔地设置于该放置架，且每一承载单元包含两承载座，该多个夹爪单元分别设置于该多个承载单元，每一夹爪单元包含两夹爪，该两夹爪分别放置于对应的承载单元的该两承载座上，其中，每一承载座埋设一磁吸件并于该磁吸件的上方形成一位移活动空间，且该承载座上设置一衔接感测组，每一夹爪的一端设置一固定杆及两定位杆，该固定杆位于该位移活动空间的上方且该固定杆的外侧面形成一环槽，该两定位杆分别位于该固定杆的两侧；

一机器手臂装置，其位于该放置装置的外侧，并且该机器手臂装置包含一控制单元、一运动单元及一手臂单元，所述运动单元电性连接该控制单元，该手臂单元连接于该运动单元，所述运动单元驱动所述手臂单元自动组接该放置装置的夹爪单元，且该手臂单元包含两手臂，每一手臂的末端部设置一固定套筒、两固定珠、两定位套筒、一锁扣件及至少一复位件，该固定套筒的两侧分别形成一穿孔，该两固定珠分别设置在该固定套筒的穿孔，该两定位套筒位于该固定套筒的两侧，该锁扣件能移动地设于该手臂，并且该锁扣件抵靠该两固定珠，且该锁扣件具有两凸部，其中，该两手臂通过该运动单元而移动至该放置装置，并且两手臂组接其中一夹爪单元的该两夹爪，于每一手臂与对应的夹爪的组接时，由该衔接感测组感测该手臂与该夹爪的衔接动作，该夹爪的定位杆伸入该手臂的定位套筒，该夹爪的固定杆伸入该手臂的固定套筒，该锁扣件能被该磁吸件磁吸而往下移动并伸入该位移活动空间，以形成解锁状态，且该手臂往上移动而解除该磁吸件的磁吸状态，该锁扣件复位并通过该两凸部分别推动该两固定珠相向移动且伸入该固定杆的环槽，以定位该固定杆并形成上锁状态。

于自动组接过程中，该锁扣件可被该磁吸件磁吸而位移并形成解锁状态，并通过该衔接感测组感测确认解锁状态，让夹爪的固定杆顺利插入该固定套筒，以及夹爪的定位杆插入对应的定位套筒，通过该衔接感测组感测夹爪与手臂的插组是否确实，在通过该运动单元带动手臂往上移动，解除该磁吸件对该锁扣件的吸附，该锁扣件可通过所述复位件复位，复位移动的过程中，让该锁扣件的该两凸部分别推动该两固定珠伸入该固定杆的环槽，通过该衔接感测组感测该锁扣件是否移动出该位移活动空间，所以该机器手臂装置可自动与夹爪单元组装，并可通过夹爪单元输送晶圆。

上述中，该自动化手臂更换机构可依据待输送的晶圆的尺寸，通过该机器手臂装置自动组接适当的夹爪单元以输送晶圆，故灵活性与适用性佳。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明进行示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中：

图1为本发明自动化手臂更换机构的未操作立体外观示意图。

图2为本发明自动化手臂更换机构的已操作立体外观示意图。

图3为本发明自动化手臂更换机构的局部分解立体外观示意图。