[发明专利]测量微小压力的压力传感器及系统在审
申请号: | 202010375969.2 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN111442874A | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 西安柯莱特信息科技有限公司 |
主分类号: | G01L11/02 | 分类号: | G01L11/02;G01L1/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安市高新区高*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及测量微小压力的压力传感器及系统,主要涉及压力测量装置领域。本申请的压力传感器包括:光栅层、压电材料层、手性金属结构层和基底;由于光栅层和手性金属结构层之间的表面等离激元的共振位置受该光栅层和该手性金属结构层之间距离的影响非常敏感,当微小的压力作用在该光栅层上时,该光栅层和手性金属结构层之间的距离发生改变,进而使得该光栅层和该手性金属结构层之间的耦合情况发生改变,进一步的改变从该基底出射的出射光的共振位置,并通过该出射光的共振位置的变化情况得到待测压力的数据。 | ||
搜索关键词: | 测量 微小 压力 压力传感器 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
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