[发明专利]测量微小压力的压力传感器及系统

权利要求书

1.一种测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器包括：光栅层、压电材料层、手性金属结构层和基底；所述光栅层包括多个光栅条，所述手性金属结构层包括多个手性金属单元，多个所述手性金属单元周期设置在所述基底的一侧，所述压电材料层设置在多个所述手性金属单元远离基底的一侧，多个所述光栅条周期设置在所述压电材料远离所述基底的一侧，且平行于所述手性金属结构层的任意一条边，其中，多个所述光栅条和多个所述手性金属单元的设置周期不同。

2.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括金属颗粒，所述金属颗粒设置在所述光栅层与所述压电材料层之间。

3.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述压力传感器还包括金属颗粒，所述金属颗粒设置在所述压电材料层与所述手性金属结构层之间。

4.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述手性金属单元的形状可以为：E形、H形、G形和F形中任意一种。

5.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述压电材料层的材料为透明压电材料。

6.根据权利要求5所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述压电材料层的材料为石英。

7.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，所述基底的材料为二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的测量微小压力的压力传感器，其特征在于，多个所述手性金属单元的材料均为贵金属。

9.一种测量微小压力的压力传感系统，其特征在于，所述压力传感系统包括：光源、光谱仪和权利要求1-8任意一项所述的压力传感器，所述光源设置在所述光栅层远离基底的一侧，用于将光照射在所述光栅层上，所述光谱仪设置在所述基底原理所述光源的一侧，用于接收并检测出射光。