[发明专利]加热装置在审
| 申请号： | 202010355827.X | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN112153761A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 小野田正敏;后藤亮介;清水一男;岸本康広 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社;姫路理化股份有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H05B3/44;H01J37/30;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 崔迎宾;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供加热装置，能够将加热器(30)插入真空腔室内并抑制由于电热丝(32)的光而端子部(33)被加热。一种加热装置，对基板(W)进行加热，具备收纳基板(W)的真空腔室(S2)以及插入真空腔室(S2)的内部的加热器(30)，加热器(30)具有：管状体(31)，贯通配置基板(W)的真空腔室(S2)的壁部设置；电热丝(32)，收纳在管状体(31)的内部，并且至少一部分配置在真空腔室(S2)内；以及端子部(33)，与电热丝(32)连接，端子部(33)配置在真空腔室(S2)的外部。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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