[发明专利]加热装置

说明书

本发明提供加热装置，能够将加热器(30)插入真空腔室内并抑制由于电热丝(32)的光而端子部(33)被加热。一种加热装置，对基板(W)进行加热，具备收纳基板(W)的真空腔室(S2)以及插入真空腔室(S2)的内部的加热器(30)，加热器(30)具有：管状体(31)，贯通配置基板(W)的真空腔室(S2)的壁部设置；电热丝(32)，收纳在管状体(31)的内部，并且至少一部分配置在真空腔室(S2)内；以及端子部(33)，与电热丝(32)连接，端子部(33)配置在真空腔室(S2)的外部。

技术领域

本发明涉及加热装置。

背景技术

以往，如专利文献1所示，作为对基板进行加热的加热装置，存在有如下构成的装置：在真空腔室的外部设置有加热器，并且透过形成于真空腔室的窗户对基板进行加热。

作为比该专利文献1所示的加热装置实现提高加热效率的方法，例如可以考虑将卤素灯加热器等棒状加热器插入真空腔室的内部的方法。

但是，在将加热器整体插入真空腔室内的情况下，端子部被构成加热器的电热丝的光加热为高温，造成构成端子部的钼箔、钼棒等热膨胀，从内侧对覆盖端子部的石英管施加应力，有可能使端子部破损。另外，如果由于上述的热膨胀而在端子部与石英管之间产生间隙，则存在如下的可能性：卤素等气体从该间隙泄漏、在端子部的周围产生放电。

由于该原因，即使通过将加热器插入真空腔室内来实现提高加热效率，也有可能产生由于卤素气体等的泄漏引起的放电、端子部的破损。

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-178322号

发明内容

因此，本发明是用于解决上述的问题而完成的，本发明的主要课题在于能够将加热器插入真空腔室内并抑制端子部被电热丝的光加热。

即，本发明的加热装置对基板进行加热，其特征在于，所述加热装置具备：真空腔室，收纳所述基板；以及加热器，插入所述真空腔室的内部，所述加热器具有：管状体，贯通所述真空腔室的壁部，设置在真空气氛内；电热丝，收纳在所述管状体的内部，并且至少一部分配置在所述真空腔室内；以及端子部，与所述电热丝连接，所述端子部配置在所述真空腔室的外部。

如果是如此构成的加热装置，则由于端子部配置在真空腔室的外部，所以能够利用真空腔室的壁面遮蔽从电热丝朝向端子部的光，能够将加热器插入真空腔室内并抑制端子部被电热丝的光加热。

由此，与将加热器整体配置在真空腔室的外部的情况相比，能够提高加热效率，并且不用担心将加热器整体配置在真空腔室内时所担心的气体泄漏引起的放电。另外，在假设将端子部配置在真空腔室内的情况下，即使不发生气体泄漏也可能在端子部的附近产生放电，但是如果是上述的加热装置，则由于将端子部配置在真空腔室的外部，所以也不用担心这样的放电。

进而，在假设将端子部配置在真空腔室内的情况下，由于与端子部连接的引线等也配置在真空腔室内，所以有可能在真空腔室内产生起因于该引线等的杂质，但是如果是本发明的加热器，则由于端子部配置在真空腔室的外部，所以与端子部连接的引线也配置在真空腔室的外部，能够防止在真空腔室内产生起因于引线等的杂质。

此外，假设将端子部配置在真空腔室内，在将真空腔室向大气开放的情况下，如果端子部被加热为高温则变得容易氧化，端子部的密封部位有可能由于伴随着氧化的膨胀而破损，但是如果是上述的加热装置，则由于能够抑制因电热丝的光而端子部被加热，所以能够抑制端子部的氧化，能够降低密封部位破损的可能性。

优选的是，所述管状体贯通形成在所述壁部的贯通孔，并且在该管状体的外周面设置有环形密封部件，与所述电热丝中配置在所述真空腔室内的部分的发热量相比，贯通所述贯通孔的部分的发热量低。