[发明专利]一种反MMI型波导马赫-曾德干涉器的制备方法有效
| 申请号： | 202010348656.8 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111308612B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 姚一村;陈南光;张丽强;田振;王宗良;纪红柱;任世杰 | 申请（专利权）人： | 聊城大学 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/136;G02B6/122 |
| 代理公司： | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 高维波 |
| 地址： | 252059 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供一种反MMI型波导马赫‑曾德干涉器的制备方法，在各种类型的条形光波导的基础上，制作两个沟槽；沟槽内侧壁所围成的区域与原条形波导区域重合，即将原波导重构为脊型波导；所述脊型波导的宽度与原条形波导宽度等于或小于原条形波导。该方案可以极大简化波导马赫‑曾德干涉器的制备过程，并可将干涉器的总长度减少到数微米至数十微米量级，从而为基于各类低折射率对比波导的集成光学芯片开发，以及高性能的微型波导传感器制备提供了新的思路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mmi 波导 马赫 干涉 制备 方法 | ||
【主权项】：
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