[发明专利]辐射探测器Be窗口去氧化处理装置及方法有效

专利信息
申请号: 202010334669.X 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN111495883B 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 陈志文;刘胜;丁嘉祺;刘俐 申请(专利权)人: 武汉大学
主分类号: B08B7/00 分类号: B08B7/00;B23K26/0622;B23K26/046;B23K26/064;B23K26/70;B23K26/142
代理公司: 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 代理人: 俞琳娟
地址: 430072 湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供了一种效果好,效率高,可以实时监测去氧化程度的辐射探测器Be窗口去氧化处理装置及方法,装置包括:样品室;驱动部;脉冲激光器,发射大功率激光对Be窗口样品表面的氧化物进行烧蚀;第一光学聚焦成像部,将大功率激光聚焦对准Be窗口样品;飞秒及准分子激光器,发射小功率激光对烧蚀后的区域进行填充扫描产生气溶胶;第二光学聚焦成像部,将小功率激光聚焦对准Be窗口样品的烧蚀区域;送气部,与样品室相连通,向样品室内送入惰性保护气体,并将飞秒及准分子激光器填充扫描后产生的气溶胶吹送向样品室的出气口;监测判断部,对气溶胶的元素含量情况进行监测,并根据监测结果判断是否还需要进一步烧结;以及控制部。
搜索关键词: 辐射 探测器 be 窗口 氧化 处理 装置 方法
【主权项】:
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