[发明专利]极紫外累积辐照损伤测试系统及方法在审
| 申请号： | 202010328028.3 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111504889A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 谢婉露;吴晓斌;王魁波;罗艳;李慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 付婧 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种极紫外累积辐照损伤测试系统及方法，该测试系统包括：EUV光源腔室、收集镜腔室和测试腔室；EUV光源腔室用于产生EUV辐照源，该EUV辐照源用于辐射出宽谱辐照光；收集镜腔室用于容纳反射镜，该反射镜用于将宽谱辐照光中的EUV光反射聚焦到测试腔室中；测试腔室中，滤光片用于滤除反射光中的长波段光，从而得到窄谱EUV光用于样品辐照测试；衰减片装载台对EUV辐照光进行不同衰减倍率的光能量衰减；样品调节台用于调节样品移动，从而实现材料累积辐照自动控制。本方案，能够提供金属、非金属、光学材料等多种固态材料长时间辐照损伤测试平台，且结构简单，操作方便，测试效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 累积 辐照 损伤 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
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