[发明专利]激光快速处理方法及装置在审
| 申请号： | 202010324952.4 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111347156A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 刘敏;郑柳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | B23K26/08 | 分类号： | B23K26/08;B23K26/364;B23K26/382;B23K26/70 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种激光快速处理方法及装置，该处理方法包括将激光束沿着旋转单元的旋转轴中心传导；然后经过导向、整形和聚焦后离开旋转单元，照射到待处理样品上对样品进行激光处理；其中，照射到待处理样品上的激光束随着旋转单元的旋转，在空间中做圆周运动，且待处理样品相对于旋转单元做平移运动。本发明采用圆周式扫描可以避免往返运动引入的震动，大大提升稳定性；扫描速度由旋转装置转速和焦斑到旋转轴中心的距离决定，速度可以大幅度提升；扫描速度与聚焦透镜的焦距无关，便于对激光束进行整形均化。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 快速 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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