[发明专利]掩膜版、掩膜组件以及掩膜组件的制造方法有效
| 申请号： | 202010298098.9 | 申请日： | 2020-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN111394691B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王亚玲 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 刘葛 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜版、掩膜组件以及掩膜组件的制造方法，掩膜组件包括掩膜框架；至少两个掩膜版，沿第一方向排布于掩膜框架；其中，相邻的两个掩膜版彼此搭接以在第二方向上具有交叠区域；其中，第一方向平行于掩膜框架，第二方向垂直于掩膜框架，第一方向与第二方向相互垂直。上述掩膜组件，掩膜组件包括沿第一方向排列的至少两个掩膜版，相比于单个大尺寸的掩膜组件，本申请的掩膜版的结构强度较高且相邻掩膜版可相互支撑，因此整体下垂量较低，为大尺寸的显示面板的制造提供了可能性。而且，相邻两个掩膜版之间不存在需要额外遮挡的间隙，因此无需额外设置遮挡掩膜版，从而减少了材料消耗，有效降低了材料断供的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 组件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010298098.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
