[发明专利]一种高吸附的电子级氨水制造系统在审
| 申请号： | 202010279186.4 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111498867A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 冯烈;刘尚文;陈云斌;许京伟;金波 | 申请（专利权）人： | 浙江建业微电子材料有限公司;浙江建业化工股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 尉伟敏 |
| 地址： | 311600 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子级氨水的制造技术领域，针对现有技术的氨水中含有杂质较多及设备能耗较高的问题，公开了一种高吸的率电子级氨水制造系统，包括蒸发器、第一气液分离器、吸附单元、第二气液分离器、洗涤单元及吸收单元，上述设备之间依次连接，所述吸附单元内设有改性吸附材料，所述洗涤单元内设有洗涤填料区，所述洗涤填料区位于所述洗涤单元的进口与出口之间，所述吸收单元内侧的进口与出口之间设有吸收填料区。制备得到杂质吸附效率高的制造系统，该系统制备过程的洗涤与吸收在常压或微正压下进行，采用具有磁性定向吸附能力及超大比表面能的改性吸附材料，最终得到氨水质量浓度较高、金属离子含量较低及性能优异稳定的电子级氨水。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 电子 氨水 制造 系统 | ||
【主权项】：
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