[发明专利]一种高吸附的电子级氨水制造系统

说明书

本发明涉及电子级氨水的制造技术领域，针对现有技术的氨水中含有杂质较多及设备能耗较高的问题，公开了一种高吸的率电子级氨水制造系统，包括蒸发器、第一气液分离器、吸附单元、第二气液分离器、洗涤单元及吸收单元，上述设备之间依次连接，所述吸附单元内设有改性吸附材料，所述洗涤单元内设有洗涤填料区，所述洗涤填料区位于所述洗涤单元的进口与出口之间，所述吸收单元内侧的进口与出口之间设有吸收填料区。制备得到杂质吸附效率高的制造系统，该系统制备过程的洗涤与吸收在常压或微正压下进行，采用具有磁性定向吸附能力及超大比表面能的改性吸附材料，最终得到氨水质量浓度较高、金属离子含量较低及性能优异稳定的电子级氨水。

技术领域

本发明涉及电子级氨水的制造技术领域，尤其涉及一种电子级氨水的制造系统。

背景技术

氨是工业上常用的物质，但使用后往往会产生含氨的废水，一般会使用气提法(Air Stripping)将废水中的氨吹出成为氨气，再使用硫酸吸收氨气，而产生硫酸铵水溶液。通常为了提升硫酸吸收氨气的效率，会使用过量的硫酸，因此所产生的硫酸铵水溶液大多偏酸性。

硫酸铵水溶液多半会被干燥成为固体硫酸铵，由于硫酸沸点高且不易气化，因此干燥产出的固体硫酸铵仍然偏酸性，而不适合用在化工产业，只能作为氮肥销售利用。然而，在上述使用硫酸为吸收液的处理方法中，不仅需要考虑硫酸铵副产物的后续处理，且因其为工业级产物，并无法作为农业用的肥料，因此在后续的应用另有所限制。因此，若能提供一种更加简化的氨水废液处理方法，且所得到的氨水纯度更高，可避免多余的副产物处理步骤，能够降低整体废液处理成本，同时也能对于半导体工业污染防治产生重要的意义。

专利号CN201620740336.6，专利名称“电子级氨水制造系统”，本实用新型揭露一种电子级氨水制造系统，主要包括一蒸馏单元、一冷凝单元、一纯化单元以及一吸收单元。蒸馏单元包括多个壳管式蒸馏器，用以加热一混合液以产生混合气体，其中混合液是由硫酸铵水溶液及强碱混合而产生，主要包括氨水及水，而混合气体则包括氨气及水气。冷凝单元包括至少一壳管式冷凝器，且纯化单元包括至少一壳管式纯化器。混合气体由蒸馏单元依序被传送至冷凝单元及纯化单元冷却，以降低混合气体的含水率。吸收单元由纯化单元接收混合气体，并使用纯水吸收混合气体中的氨气，以产生一电子级氨水。

其不足之处在于，其最终氨水中含有杂质含量较高，且制备过程中需要加压设备能耗较高。

发明内容

本发明是为了克服现有技术的氨水中含有杂质较多及设备能耗较高的问题，提供一种高吸附的电子级氨水制造系统，制备得到杂质吸附效率高的制造系统，该系统制备过程的洗涤与吸收在常压或微正压下进行，采用具有磁性定向吸附能力及超大比表面能的改性吸附材料，最终得到氨水质量浓度较高及金属离子含量较低的电子级氨水，且制备工艺简单，性能优异稳定的电子级氨水。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种高吸附的电子级氨水制造系统法，包括蒸发器、第一气液分离器、吸附单元、第二气液分离器、洗涤单元及吸收单元，上述设备之间依次连接，所述吸附单元内设有改性吸附材料，所述洗涤单元内设有洗涤填料区，所述洗涤填料区位于所述洗涤单元的进口与出口之间，所述吸收单元内侧的进口与出口之间设有吸收填料区。

待处理氨水从蒸发器通入，依次流经第一气液分离器、吸附单元、第二气液分离器、洗涤单元及吸收单元，所述洗涤单元及吸收单元中均通入纯水，最终在吸收单元处制得纯度较高的氨水；第一气液分离器，用于分离气氨中夹带的水分等；吸附单元，用于吸附气液分离器出来的气氨中的可吸附杂质及氨气中的技术离子等；第二气液分离器，用于分离洗涤单元出来气氨中夹带的水分等；洗涤单元，用18MΩ·cm的超纯水洗涤获得需求的氨气；吸收单元，放置于洗涤单元后面，对来自洗涤单元的超纯氨气进行吸收，以获得电子级氨水。