[发明专利]一种飞秒激光前转移技术制备OLED发光器件的方法在审
| 申请号： | 202010278215.5 | 申请日： | 2020-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN111384313A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 黄福志;吕雪辉;谭光耀;王学文;程一兵 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种飞秒激光前转移技术制备OLED发光器件的方法，包括以下步骤，先在ITO玻璃基板上蒸镀空穴传输层HTL，形成受主ITO玻璃基板；然后制备带有特定图案的待转移发光层EML的施主ITO玻璃基板；再利用飞秒激光脉冲将施主ITO玻璃基板上的发光层EML转移到步骤S1中的空穴传输层HTL上；最后在转移的发光层EML上蒸镀电子传输层ETL和金属阳极Al。本发明的方法可以在非真空条件下，将有机发光功能层薄膜材料以高分辨率和特定形状精准转移到相应基板上，不仅实现了转移区域的精确控制，且对加工环境要求低，降低成本的同时提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 转移 技术 制备 oled 发光 器件 方法 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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