[发明专利]高量程压差传感器

摘要

过程压力变送器包括布置在壳体内的变送器电子装置。变送器电子装置包括联接到处理系统的通信电路和设置在壳体内的模数转换器。模数转换器电连接到变送器电子装置。压力传感器包括第一材料的单元主体，该单元主体具有第一内壁和第二内壁，第二内壁与第一内壁大致相对从而限定了内腔。包括第二材料的可偏转膜片在第一内壁和第二内壁之间联接到单元主体，并将内腔分成第一腔和第二腔。可偏转膜片包括位于可偏转膜片的周边附近的凹槽区域。第一腔和第二腔各自包含电介质填充流体，每种填充流体适于接收压力并在膜片上施加相应的力，并且膜片能够响应于第一腔和第二腔中的填充流体接收的压力的差而偏转。