[发明专利]脆性衬底的分断方法在审
| 申请号： | 202010254014.1 | 申请日： | 2017-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN111347574A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/027;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种脆性衬底的分断方法。准备刀头(51)，所述刀头(51)通过具有第1～第3面(SD1～SD3)而具有棱线(PS)及顶点(PP)。使刀头(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上沿着从棱线(PS)向第1面(SD1)的方向滑动，由此以无裂痕状态形成具有槽形形状的槽线(TL)。刀头(51)的棱线(PS)将脆性衬底(4)的缘(ED)切下，由此使厚度方向(DT)上的脆性衬底(4)的裂痕从缘(ED)沿着槽线(TL)伸展，以此形成裂痕线(CL)。由于裂痕线(CL)，在槽线(TL)的下方脆性衬底(4)与槽线(TL)交叉的方向上的连续相连被中断。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 衬底 方法 | ||
【主权项】：
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