[发明专利]脆性衬底的分断方法

说明书

本申请涉及一种脆性衬底的分断方法。准备刀头(51)，所述刀头(51)通过具有第1～第3面(SD1～SD3)而具有棱线(PS)及顶点(PP)。使刀头(51)在脆性衬底(4)的一面(SF1)上沿着从棱线(PS)向第1面(SD1)的方向滑动，由此以无裂痕状态形成具有槽形形状的槽线(TL)。刀头(51)的棱线(PS)将脆性衬底(4)的缘(ED)切下，由此使厚度方向(DT)上的脆性衬底(4)的裂痕从缘(ED)沿着槽线(TL)伸展，以此形成裂痕线(CL)。由于裂痕线(CL)，在槽线(TL)的下方脆性衬底(4)与槽线(TL)交叉的方向上的连续相连被中断。

分案申请的相关信息

本案是分案申请。该分案的母案是申请日为2017年2月17日、申请号为201780012693.8、发明名称为“脆性衬底的分断方法”的发明专利申请案。

技术领域

本发明涉及一种脆性衬底的分断方法。

背景技术

在平板显示器面板或太阳能电池面板等电气机器的制造中，时常需要将脆性衬底分断。在典型的分断方法中，首先是在脆性衬底上形成裂痕线。在本说明书中，所谓“裂痕线”表示沿着脆性衬底的厚度方向部分行进的裂痕在脆性衬底的表面上呈线状延伸的线。接着，实施所谓的裂断步骤。具体来说，通过对脆性衬底施加应力，而使裂痕线的裂痕在厚度方向上完全行进。由此，沿着裂痕线将脆性衬底分断。

根据专利文献1，刻划时会产生位于玻璃板的上表面的凹槽。在该专利文献1中，这种凹槽被称作“刻划线”。另外，在刻设该刻划线的同时，会产生从刻划线向正下方方向延伸的裂痕。就像该专利文献1的技术中所见，以往的典型的技术中，会在形成刻划线的同时形成裂痕线。

专利文献2提出了与所述典型的分断技术明显不同的分断技术。根据该技术，首先，通过刀头在脆性衬底上的滑动来引起塑性变形，由此形成在该专利文献2中被称作“刻划线”的槽形形状。在本说明书中，后文会将该槽形形状称作“槽线”。在形成槽线的时点，其下方并不形成裂痕。之后使裂痕沿着槽线伸展，由此形成裂痕线。也就是说，与典型的技术不同，会暂时形成不伴有裂痕的槽线，之后再沿着槽线形成裂痕线。然后，沿着裂痕线实施通常的裂断步骤。

所述专利文献2的技术中所使用的不伴有裂痕的槽线与会同时形成裂痕的典型的刻划线相比，能够通过以更低的负载使刀头滑动来形成。由于负载较小，所以对刀头造成的损伤变小。由此，根据该分断技术，能够延长刀头的寿命。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平9-188534号公报

专利文献2：国际公开第2015/151755号

发明内容

[发明要解决的问题]

在以往的典型的技术中，划线时未形成裂痕意味着划线的失败。然而，在所述专利文献2的分断技术中，有意识地通过划线形成不伴有裂痕的槽线。而且，之后会产生沿着槽线的裂痕线。为了开始形成裂痕线，需要给脆性衬底创造一个契机来释放通过槽线的形成而在脆性衬底中产生的内部应力。关于创造这种契机的方法，所述专利文献2中提出了各种方法。根据本发明者的研究，虽然这些方法也是有用的，但残留着形成裂痕线的概率略低，或因为需要追加的裂断步骤所以作业负担略大等问题。

本发明是为了解决如上所述的问题而完成，其目的在于提供一种能够在形成下方不具有裂痕的槽线后，更加确实且容易地形成沿着槽线的裂痕线的脆性衬底的分断方法。

[解决问题的技术手段]

依照本发明的一形态的脆性衬底的分断方法包含以下步骤a)～e)。

a)准备脆性衬底，脆性衬底具备设置有缘的一面、及与一面垂直的厚度方向。