[发明专利]优化的激光切割有效
| 申请号： | 202010238703.3 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111805094B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 沃伯格·保罗 | 申请（专利权）人： | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/0622;B23K26/064 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶 |
| 地址： | 新加坡义*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种通过使用激光能量照射晶片来切割所述晶片的方法，包括：发射连续激光束脉冲序列，所述连续激光束脉冲序列具有第一组激光束脉冲和第二组激光束脉冲，所述第一组激光束脉冲包括：各自脉冲宽度在0.1至300纳秒的范围内的激光束脉冲，或突发串间间隔在0.1至100纳秒范围内的多个激光束脉冲突发串，所述突发串内的每个脉冲的脉冲宽度为100皮秒或更小；并且所述第二组激光束脉冲包括脉冲宽度为100皮秒或更小的激光束脉冲。 | ||
| 搜索关键词： | 优化 激光 切割 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先进科技新加坡有限公司，未经先进科技新加坡有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010238703.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：涡轮机的计测方法以及计测系统
- 下一篇：阀和配件
