[发明专利]一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法有效
| 申请号： | 202010238600.7 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111288900B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;王宇航;由小玉;刘辰光 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，包括：建立遮挡孔径点扩散函数及边缘遮挡共焦成像模型；利用边缘遮挡共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并进行归一化处理，获得理想沟槽归一化强度像；提取理想沟槽归一化强度像复振幅的轮廓线，找到沟槽边缘与归一化强度像交点的强度值I |
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| 搜索关键词： | 一种 用于 沟槽 宽度 边缘 定位 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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