[发明专利]一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法有效
| 申请号： | 202010238600.7 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111288900B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 刘俭;王宇航;由小玉;刘辰光 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/03 | 分类号： | G01B11/03 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 150000 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 沟槽 宽度 边缘 定位 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，其特征在于，包括：
建立遮挡孔径点扩散函数，基于遮挡孔径点扩散函数建立边缘遮挡共焦成像模型；
利用边缘遮挡共焦成像模型计算理想沟槽强度像，并对其进行归一化处理，获得理想沟槽归一化强度像；
提取理想沟槽归一化强度像复振幅的轮廓线，找到沟槽边缘与归一化强度像交点的强度值INor；
从实际测量三维数据中提取沟槽下表面轴向包络曲线，通过质心法确定沟槽下表面准焦位置，根据准焦位置提取出沟槽下表面准焦图像并归一化，得到实际测量的沟槽归一化强度像；
寻找实际测量获得的沟槽归一化强度像中强度值为INor的坐标点，该点对应的横向位置即为实际测量中沟槽边缘位置，进而可以确定沟槽宽度；
所述遮挡孔径点扩散函数是一个随沟槽边缘与光学系统光轴相对位置关系改变的点扩散函数；
所述边缘遮挡共焦成像模型是一种基于沟槽底部聚焦成像计算的模型。
2.根据权利要求1所述的一种用于沟槽宽度定值的边缘定位方法，其特征在于，所述理想沟槽强度像的光场是两部分光场叠加获得的，一是基于遮挡孔径点扩散函数计算沟槽下表面在探测像面的光场分布，二是基于三维离焦点扩散函数计算沟槽上表面在探测像面的光场分布。
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