[发明专利]一种电热控温式的化学机械抛光平台在审
| 申请号： | 202010235857.7 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111266991A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王家雄 | 申请（专利权）人： | 昂士特科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/015 | 分类号： | B24B37/015;B24B37/34;B24B37/11 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 谭雪婷;梁炎芳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区桃源*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电热控温式的化学机械抛光平台，包括抛光盘和旋转轴，还包括温度控制器和加热器，抛光盘包括面板、底座和中空的连接座，底座上表面开设有凹槽，凹槽内设置有陶瓷盘，陶瓷盘中部开设有连接避位孔，陶瓷盘上开设有盘旋槽，盘旋槽内设置有加热丝；连接座固定连接在旋转轴的顶部；凹槽内还设置有热电偶和连接线，旋转轴的外侧壁上绝缘设置有两组金属圈，旋转轴对应两组金属圈的位置开设有连接孔，热电偶和连接线与两组金属圈连接。本发明技术方案简单实用，旨在采用温度控制器通过热电偶实时测量并控制加热器以调节抛光盘的表面温度，从而将抛光盘恒定在所需温度下，实现精准控制抛光温度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电热 控温式 化学 机械抛光 平台 | ||
【主权项】：
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