[发明专利]一种电热控温式的化学机械抛光平台

权利要求书

1.一种电热控温式的化学机械抛光平台，包括抛光盘和旋转轴，其特征在于，还包括温度控制器和加热器，所述抛光盘包括面板、底座和中空的连接座，所述底座上表面开设有凹槽，所述凹槽内设置有陶瓷盘，所述陶瓷盘中部开设有连接避位孔，所述陶瓷盘上开设有盘旋槽，所述盘旋槽内设置有加热丝；所述面板设置在所述底座上并由所述加热丝加热，所述连接座设置在所述底座的底部与所述连接避位孔对应的位置，所述连接座固定连接在所述旋转轴的顶部；所述凹槽内还设置有热电偶和加热丝连接线，所述热电偶的热敏端与所述面板抵接，所述加热丝连接线与所述加热丝连接；所述旋转轴呈中空设置，所述旋转轴的外侧壁上绝缘设置有两组金属圈，所述旋转轴对应于两组所述金属圈的位置开设有连接孔，所述热电偶的冷端设置有冷端连接线，所述冷端连接线和所述加热丝连接线依次穿过所述连接避位孔、所述连接座、所述旋转轴以及所述连接孔对应地与两组所述金属圈连接，所述温度控制器和所述加热器通过电动配件与两组所述金属圈实现不间断动态式电接触。

2.如权利要求1所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述电动配件为弹簧片或电刷或滚轮，其中，所述电动配件的材质为金属、导电性玻璃碳或导电陶瓷。

3.如权利要求1所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述连接座和所述旋转轴内均设置有陶瓷管。

4.如权利要求3所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述旋转轴的外侧壁上还设置有传动轮。

5.如权利要求1～4任一所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述连接线和所述热电偶的中部设置连接有电插口和电插头，所述电插口设置在所述连接座的底部，所述电插头设置在所述旋转轴的顶部，且所述电插头和所述电插口相耦合。

6.如权利要求1～4任一所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述金属圈为铜、不锈钢、铝合金、钛合金，或其它金属。

7.如权利要求1～4任一所述的电热控温式的化学机械抛光盘，其特征在于，所述金属圈与所述旋转轴之间设置有绝缘垫。