[发明专利]计量级3D超景深显微系统及检测方法在审
| 申请号： | 202010235505.1 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111256616A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 阳宇春;孙亮 | 申请（专利权）人： | 阳宇春;孙亮 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01N21/95 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 管高峰 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种计量级3D超景深显微系统及检测方法，涉及光电无损3D检测技术领域；该显微系统包括光学显微镜、光谱共焦传感器或白光干涉传感器、xyz轴电动位移平台以及控制模块和PC处理器；xyz轴电动位移平台包括xy轴平移台和z轴升降模块，光学显微镜配置有照明光源和图像采集单元，控制模块包括xyz电动控制单元、与光谱共焦传感器或白光干涉传感器连接的处理器及电源模块，图像采集单元用于采集目标检测区域的图像信息，并将图像信息传输至PC处理器；通过实施本技术方案，能够无损观察样品，并能够超大面积对材料表面的微观状态进行拍照、3D真彩色成像及3D精准测量，实现计量级的检测精度，并保有微观样品的细节与真实颜色，具有很好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 量级 景深 显微 系统 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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