[发明专利]微机械部件和形成层结构的方法在审
| 申请号： | 202010223048.4 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111747374A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | J.鲁德亚德;C.T.班扎夫 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G02B26/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 石克虎;林毅斌 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及微机械部件和形成层结构的方法。具体地，本发明涉及微机械部件，其具有衬底；由至少一种第一材料形成的第一层（10），所述第一层具有至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的凸出子区域（10a），所述凸出子区域（10a）分别通过第一层（10）的围绕各自凸出子区域（10a）的各一个过渡区域（10b）与第一层（10）的至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的缩回子区域（10c）连接；由与第一材料相同或不同的第二材料形成的第二层（28）；和环绕第一层（10）的所述至少一个过渡区域（10c）的各一个由填充材料形成的环形填充区域（26a），所述环形填充区域（26a）被第一层（10）和第二层（28）气密性包围，其中所述至少一个环形填充区域（26a）的填充材料的热和/或固有内应力与第二材料的热和/或固有内应力不同。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 部件 形成层 结构 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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