[发明专利]微机械部件和形成层结构的方法

权利要求书

1.微机械部件，其具有：

衬底（12）；和

布置在衬底（12）的子表面（12a）上的由至少一种第一材料形成的第一层（10），第一层（10）具有至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的凸出子区域（10a），所述凸出子区域（10a）分别通过第一层（10）的围绕各自凸出子区域（10a）的各一个过渡区域（10b）与第一层（10）的至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的缩回子区域（10c）连接；

其特征在于

由与第一材料相同或不同的第二材料形成的第二层（28），第二层（28）至少部分地覆盖第一层（10）的背向衬底（12）的表面；和

环绕第一层（10）的所述至少一个过渡区域（10c）的各一个由填充材料形成的环形填充区域（26a），其中所述至少一个环形填充区域（26a）被第一层（10）和第二层（28）气密性包围，且其中所述至少一个环形填充区域（26a）的填充材料的热和/或固有内应力与第二材料的热和/或固有内应力不同。

2.根据权利要求1所述的微机械部件，其中所述至少一个环形填充区域（26a）的填充材料的热和/或固有内应力以此方式与第二材料的热和/或固有内应力不同：使得所述至少一个环形填充区域（26a）的填充材料对由第二材料形成的第二层（28）造成拉应力。

3.根据权利要求1或2所述的微机械部件，其中所述第二层（28）由作为第二材料的硅形成，并且所述至少一个环形填充区域（26a）由作为填充材料的含硅和氧的材料形成。

4.根据权利要求3所述的微机械部件，其中所述至少一个环形填充区域（26a）由作为填充材料的二氧化硅或原硅酸四乙酯形成。

5.根据前述权利要求之一所述的微机械部件，其中由所述第一层（10）、所述第二层（28）和所述至少一个环形填充区域（26a）形成的层结构是布拉格反射器和/或法布里-珀罗干涉仪的至少一部分。

6.形成层结构的方法，其具有下列步骤：

在衬底（12）的子表面（12a）上和/或上方由至少一种第一材料形成所述层结构的第一层（10），其中形成具有至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的凸出子区域（10a）的第一层（10），所述凸出子区域（10a）分别通过第一层（10）的围绕各自凸出子区域（10a）的各一个过渡区域（10b）与第一层（10）的至少一个平行于衬底（12）的子表面（12a）取向的缩回子区域（10c）连接；

其特征在于下列步骤：

形成环绕第一层（10）的所述至少一个过渡区域（10c）的各一个环形填充区域（26a）；和

用由与第一材料相同或不同的第二材料形成的第二层（28）至少部分地覆盖第一层（10）的背向衬底（12）的表面，从而使所述至少一个环形填充区域（26a）被第一层（10）和第二层（28）气密性包围；

其中所述至少一个环形填充区域（26a）由填充材料形成，该填充材料的热和/或固有内应力与第二材料的热和/或固有内应力不同。

7.根据权利要求6所述的方法，其中为了形成所述至少一个环形填充区域（26a），将所述填充材料以力和形状配合的方式沉积在第一层（10）上。

8.根据权利要求6或7所述的方法，其中为了形成所述至少一个环形填充区域（26a），借助高温氧化法或原硅酸四乙酯沉积而将所述填充材料沉积在第一层（10）上。

9.根据权利要求6至8之一所述的方法，其中为了形成所述至少一个环形填充区域（26a），将所述填充材料以此方式沉积在第一层（10）上，以使得第一层（10）的背向衬底（12）的表面至少部分地被由所述填充材料形成的填充材料层（26）覆盖，且其中借助各向同性、无掩模的干法刻蚀步骤从填充材料层（26）中构造出所述至少一个环形填充区域（26a）。

10.根据权利要求9所述的方法，其中在各向同性、无掩模的干法刻蚀步骤中借助电感耦合等离子体从填充材料层（26）中构造出所述至少一个环形填充区域（26a）。