[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010208532.X | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN112039477A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法，其中薄膜体声波谐振器包括：第一衬底；键合于第一衬底上的支撑层，支撑层中形成有贯穿支撑层的第一空腔；压电叠层结构，覆盖第一空腔，压电叠层结构从上至下包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极，在有效谐振区第一电极、压电层和第二电极在垂直于压电层方向上重叠；第一电极包括第一侧面和/或第二电极包括第二侧面，有效谐振区的至少部分边界包括第一侧面和/或第二侧面，且第一侧面和/或第二侧面与压电层表面的夹角为85‑95度。本发明能够改善压电层的晶向，减少谐振器的横波损耗，使薄膜体声波谐振器的品质因子得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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