[发明专利]一种薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202010208269.4 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN112039483A | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，包括：第一衬底；设置于所述第一衬底上的支撑层，所述支撑层中设有贯穿所述支撑层的第一空腔；压电叠层结构，覆盖所述第一空腔，所述压电叠层结构从上至下包括依次层叠的第一电极、压电层和第二电极，在有效谐振区所述第一电极、压电层和第二电极在垂直于所述压电层表面方向上重叠，所述有效谐振区位于所述第一空腔围成的区域上方；所述压电叠层结构中设有贯穿所述压电层及所述第二电极的第一沟槽，所述第一沟槽靠近所述有效谐振区的侧壁为第一侧面，所述第一侧面与所述第一电极表面的夹角为85‑95度，所述有效谐振区的部分边界由所述第一侧面构成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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