[发明专利]检查方法及检查装置在审
| 申请号： | 202010186956.0 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111721502A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 小林信次;宫路隆昭 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供可容易地判断偏振板有无缺陷的检查方法及检查装置。依次排列地配置具备偏振板(1A)和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10A)；包含波长550nm时的面内相位差值比剥离膜(16a)的波长550nm时的面内相位差值大500～600nm的区域、且对剥离膜(16a)所具有的双折射进行补偿的相位差板(4)；与偏振板(1A)构成正交尼克尔棱镜的偏振滤光片(3A)，从被检查物(10A)侧或偏振滤光片(3A)侧中的任一侧，以光轴(9)通过该区域的方式使光入射，从另一侧观察偏振滤光片(3A)或被检查物(10A)来判断偏振板(1A)有无缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010186956.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
