[发明专利]检查方法及检查装置

权利要求书

1.一种检查方法，其为判断膜状的被检查物有无缺陷的检查方法，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，在该检查方法中，依次排列地配置：

所述被检查物；

相位差板，其包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿；以及

偏振滤光片，其与所述偏振板构成正交尼克尔棱镜，

从所述被检查物侧或所述偏振滤光片侧中的任一侧，以光轴通过所述区域的方式使光入射，从另一侧观察所述偏振滤光片或所述被检查物。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述偏振板为直线偏振板，

所述偏振滤光片为直线偏振滤光片。

3.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述偏振板为圆偏振板，

所述偏振滤光片为相位差滤光片。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的检查方法，其中，所述相位差板的面内相位差值连续地变化。

5.根据权利要求4所述的检查方法，其中，所述相位差板由多片构成，以使所述面内相位差值增加的朝向互为反向的方式进行配置。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的检查方法，其中，所述相位差板包含无机材料或环烯烃系树脂。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的检查方法，其中，将所述被检查物、所述相位差板及所述偏振滤光片中的至少一者以彼此相向的角度不同的方式倾斜，或者在与所述光的光轴垂直的方向上旋转。

8.一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断所述偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：

光源；

偏振滤光片，其使从所述光源发出且已通过所述被检查物的光入射；以及

相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更远离所述光源的一侧、且与配置所述偏振滤光片的位置相比更靠近所述光源的一侧，并且使已通过所述被检查物的光通过，

所述相位差板包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。

9.一种检查装置，其为使光入射至膜状的被检查物来判断所述偏振板有无缺陷的检查装置，所述膜状的被检查物具备偏振板和由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂形成的剥离膜，所述检查装置具备：

光源；

偏振滤光片，其使所述光源所发出的光通过；以及

相位差板，其配置在与配置所述被检查物的位置相比更靠近所述光源的一侧、且与配置所述偏振滤光片的位置相比更远离所述光源的一侧，并且使已通过所述偏振滤光片的光通过，

所述相位差板包含波长550nm时的面内相位差值比所述剥离膜的波长550nm时的面内相位差值大500nm～600nm的区域，且对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿。

10.根据权利要求8或9所述的检查装置，其中，

所述偏振板为直线偏振板，

所述偏振滤光片为直线偏振滤光片。

11.根据权利要求8或9所述的检查装置，其中，

所述偏振板为圆偏振板，

所述偏振滤光片为相位差滤光片。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的检查装置，其中，所述相位差板的面内相位差值连续地变化。

13.根据权利要求12所述的检查装置，其中，所述相位差板由多片构成，以使所述面内相位差值增加的朝向互为反向的方式进行配置。