[发明专利]检查用基板和检查方法在审
| 申请号： | 202010185530.3 | 申请日： | 2020-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN111745313A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 古田健次 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供检查用基板和检查方法，用于对激光束的漏光进行检查，以便定量地评价漏光所到达的区域。该检查用基板用于对激光束的漏光进行检查，其中，该检查用基板具有：供具有透过检查用基板的波长的激光束照射的一个面；与一个面相反的一侧的另一个面；设置于另一个面上的间隔道；多条第1检查用布线，它们在另一个面上分别沿着间隔道配置于距离间隔道不同的距离处；以及多个第1电极垫，它们在另一个面上在多条第1检查用布线上分别设置两个以上，并在多条第1检查用布线上分别在沿着间隔道的方向上分开而配置。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 用基板 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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