[发明专利]适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及制备方法在审
| 申请号： | 202010181587.6 | 申请日： | 2020-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN111286394A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 沈家华;吕德;苏光临;陈韬 | 申请（专利权）人： | 南宁珀源能源材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10N40/22;C10N30/18;C10N30/10 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 靳浩 |
| 地址： | 530221 广西壮族自治区南*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及其制备方法。硅片切削液包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1‑1％、抑泡剂0.1‑5％、无泡乳化剂0.05‑5％、杀菌抑菌剂0.1‑5％、聚乙二醇5‑40％、无泡渗透剂1‑20％、低泡清洗剂5‑10％和余量的去离子水；其中，所述抑泡剂为炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合；所述无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合。本发明的硅片切削液具有优异的抑泡作用，在循环使用过程中，不需要外加消泡剂的条件下，可以抑制泡沫的产生和较快消散泡沫，提高循环使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 在线 回收 供给 循环系统 硅片 切削 制备 方法 | ||
【主权项】：
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