[发明专利]适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液及制备方法

权利要求书

1.适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：三乙醇胺硼酸酯0.1-1％、抑泡剂0.1-5％、无泡乳化剂0.05-5％、杀菌抑菌剂0.1-5％、聚乙二醇5-40％、无泡渗透剂1-20％、低泡清洗剂5-10％和余量的去离子水；

其中，所述抑泡剂为炔二醇、异辛醇中的一种或者两种混合；所述无泡乳化剂为异构醇聚氧乙烯醚1005、FT625中的一种或者两种混合。

2.如权利要求1所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述杀菌抑菌剂为异噻唑啉酮、均三嗪、有机胍类杀菌剂、低毒酚类杀菌剂中的一种或者几种混合。

3.如权利要求2所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述无泡渗透剂为陶氏EH-9、陶氏TRITON DF-20、低泡脂肪醇聚氧烷基醚Plurafac LF 221中的一种或者几种混合。

4.如权利要求3所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述低泡清洗剂为聚醚多元醇AL-602、有机胺酯TPP中的一种或者两种混合。

5.如权利要求4所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液，其特征在于，所述聚乙二醇为聚乙二醇200、聚乙二醇300或者聚乙二醇400中的一种。

6.适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液的制备方法，其特征在于，采用如权利要求1-5任一项的重量百分比的组分，在低于60℃的环境下，将聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌均匀，然后加入三乙醇胺磷酸酯、低泡清洗剂、无泡渗透剂、抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌均匀，最后加入去离子水，搅拌均匀，得到清澈溶液即为切削液。

7.如权利要求6所述的适用于在线回收及供给循环系统的硅片切削液的制备方法，其特征在于，所述聚乙二醇和无泡乳化剂搅拌的时间为30分钟；加入三乙醇胺磷酸酯，低泡清洗剂，无泡渗透剂，抑泡剂和杀菌抑菌剂搅拌时间为1小时；加入去离子水搅拌为1小时。