[发明专利]微细结构及其加工方法在审
| 申请号： | 202010163710.1 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113371676A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 王诗男 | 申请（专利权）人： | 上海新微技术研发中心有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京知元同创知识产权代理事务所(普通合伙) 11535 | 代理人： | 刘元霞 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供一种微细结构及其加工方法，所述微细结构的加工方法包括：在基板的待加工部分的表面设置液体薄膜，所述激光照射在所述固液界面的位置至少沿着与所述基板的所述表面平行的方向移动，所述液体薄膜与所述基板接触的部位形成固液界面；以及向所述基板照射预定波段的激光，以刻蚀所述固液界面处的所述基板，其中，所述液体薄膜对于所述激光的吸收率大于所述基板对于所述激光的吸收率。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
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