[发明专利]一种束源腔体精确转动的调节装置及其测量方法在审
| 申请号： | 202010159491.X | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113376308A | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 陈荣军;吴国荣;杨学明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | G01N31/00 | 分类号： | G01N31/00 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 116023 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种束源腔体精确转动的调节装置，由束源真空腔体、齿轮组、同轴齿轮、转动固定板、轴承、设计定制连接件、直驱旋转马达、步进电机和计算机组成。整个调节装置由计算机控制，利用多级齿轮组省力原理，结合步进电机控制技术，提出了针对束源腔体精确转动的调节方案。此装置解决了现有系统的转动不稳定问题和无法对每次转动角度的均一性复位问题，并在此基础上实现了转动控制与数据采集过程的自动化，可以显著提升效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 束源腔体 精确 转动 调节 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
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