[发明专利]一种束源腔体精确转动的调节装置及其测量方法

权利要求书

1.一种束源腔体精确转动的调节装置，其特征在于：该装置包括束源真空腔体(11)、束源真空腔体顶板(13)，所述束源真空腔体顶板(13)固定有两个转动固定板，所述转动固定板内嵌轴承，所述束源真空腔体的转动通过齿轮组和同轴齿轮实现，各组件之间通过连接件紧密连接在一起；

所述束源真空腔体顶部安装齿轮Ⅰ(12)，与束源真空腔体顶板不相连；

直驱旋转马达和步进电机组成直驱电机旋转滑台(21)，受计算机的控制，用于输出力矩，通过齿轮组传导最终转动束源腔体，同时记录位移值用于标定束源真空腔体的旋转角度，实现调节束源真空腔体转动角度的自动化。

2.根据权利要求1所述的束源腔体精确转动的调节装置，其特征在于：所述齿轮组包括齿轮Ⅰ(12)、齿轮Ⅱ(15)、齿轮Ⅲ(14)和齿轮Ⅳ(16)。

3.根据权利要求1所述的束源腔体精确转动的调节装置，其特征在于：所述同轴齿轮具体为，齿轮Ⅲ(14)与齿轮Ⅰ(12)以链条相连，齿轮Ⅱ(15)与齿轮Ⅳ(16)以链条相连。

4.根据权利要求1所述的束源腔体精确转动的调节装置，其特征在于：所述束源真空腔体(11)为密闭腔体，与整体的腔体之间可以实现内部相对转动。

5.一种如权利要求1-4任一所述的束源腔体精确转动的调节装置的测量方法，其特征在于：所述测量方法为：

根据需要转动的束源腔体自重和直驱电机旋转滑台的输出转矩决定齿轮组的级数和参数，在进行真空实验前利用计算机连接直驱电机旋转滑台，获取初始位置参量，再驱动电机一定的位移，标定电机位移与束源腔体角度之间的关联，获得转化参数。在实际实验中设定起始角度、终点角度、步长参数、需扫描位置总数，按照转化参数转化为电机位移之后逐次写入脚本，循环扫描这些位置进行数据采集，最后进行平均。