[发明专利]钝化液及铜表面成膜处理方法有效
| 申请号： | 202010144118.7 | 申请日： | 2020-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN111394718B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 熊猛;易金彪;况金权 | 申请（专利权）人： | 广东东明新材科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C22/68 | 分类号： | C23C22/68;C23C22/78;C23F3/06;C23G1/20 |
| 代理公司： | 深圳市智胜联合知识产权代理有限公司 44368 | 代理人： | 王月 |
| 地址： | 516199 广东省惠州市博罗*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及铜表面处理技术领域，公开了一种钝化液及铜表面成膜处理方法。该钝化液按重量份数计包括以下组分：氟钽酸盐0.5～2份、偏钒酸盐1～5份、缓蚀剂0.5～2份及表面活性剂0.5～5份。该铜表面成膜处理方法包括脱脂处理、抛光处理、去膜处理、钝化处理及干燥处理等步骤。本发明操作简单，成膜速度较快，钝化效果较好，能够使钝化处理后的铜工件具有极佳的耐腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 钝化 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C22-00 表面与反应液反应、覆层中留存表面材料反应产物的金属材料表面化学处理，例如转化层、金属的钝化
C23C22-02 .使用非水溶液的
C23C22-05 .使用水溶液的
C23C22-70 .使用熔体
C23C22-73 .以工艺为特征的
C23C22-78 .待镀覆材料的预处理
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