[发明专利]钝化液及铜表面成膜处理方法

权利要求书

1.一种钝化液，其特征在于，包括以下组分：

氟钽酸盐0.5~2g/L、偏钒酸盐1~5g/L、缓蚀剂0.5~2g/L及表面活性剂0.5~5g/L；

所述缓蚀剂为2-巯基苯并噻唑；

所述钝化液的pH值为7~8；

所述氟钽酸盐包括氟钽酸钾和氟钽酸钠其中至少一种；

所述表面活性剂为烷基糖苷。

2.根据权利要求1所述的钝化液，其特征在于，所述偏钒酸盐包括偏钒酸钠、偏钒酸钾和偏钒酸铵其中至少一种。

3.一种铜表面成膜处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

将铜工件放入至如权利要求1~2中任一所述的钝化液中，进行钝化处理，以在所述铜工件表面形成钝化膜。

4.根据权利要求3所述的铜表面成膜处理方法，其特征在于，所述钝化处理的温度为40℃~50℃，所述钝化处理的时间为2min~5min。

5.根据权利要求4所述的铜表面成膜处理方法，其特征在于，在将所述铜工件放入至所述钝化液中的操作之前，还包括以下步骤：

在60℃~70℃的温度下，将铜工件放入至脱脂除油液中，进行脱脂处理5min~15min；其中，所述脱脂除油液按重量份数计包括以下组分：氢氧化钠20~25份、碳酸钠20~25份、三聚磷酸钠8~20份及TX-10活性剂0.5~2份；

在20℃~30℃的温度下，将所述铜工件放入至抛光液中，进行抛光处理1min~3min；其中，所述抛光液按重量份数计包括以下组分：硫酸15~25份、双氧水200~300份、硫脲3~10份及活性剂0.1~1份；

在20℃~30℃的温度下，将所述铜工件放入至去膜液中，进行去膜处理15s~25s；其中，所述去膜液按重量份数计包括以下组分：硫酸30~70份及润湿剂1~5份。

6.根据权利要求5所述的铜表面成膜处理方法，其特征在于，在进行钝化处理的操作之后，还在60℃~80℃的温度下，对所述铜工件进行干燥处理10min~15min。