[发明专利]版盒解锁装置及掩模传输版库设备有效
| 申请号： | 202010130780.7 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN113323512B | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 吴芬;姜杰;向军;庞飞;郝凤龙 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | E05B47/00 | 分类号： | E05B47/00;E05B65/52;E05B15/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种版盒解锁装置及掩模传输版库设备，版盒解锁装置，包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉；驱动机构包括电机和偏心转轮，电机通过偏心转轮偏心连接连杆机构；连杆机构包括若干传动杆和若干解锁杆，解锁杆分别和与其对应设置的传动杆相铰接，偏心转轮和其中一传动杆相连，每一解锁杆上均安装有一解锁销钉；驱动机构用于驱动连杆机构作往复运动，进而带动解锁销钉对版盒进行解锁和关锁；连杆机构与驱动机构之间满足如下关系： |
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| 搜索关键词： | 解锁 装置 传输 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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