[发明专利]版盒解锁装置及掩模传输版库设备有效

专利信息
申请号: 202010130780.7 申请日: 2020-02-28
公开(公告)号: CN113323512B 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 吴芬;姜杰;向军;庞飞;郝凤龙 申请(专利权)人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
主分类号: E05B47/00 分类号: E05B47/00;E05B65/52;E05B15/00
代理公司: 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 解锁 装置 传输 设备
【权利要求书】:

1.一种版盒解锁装置,其特征在于,包括驱动机构、连杆机构和解锁销钉;

所述驱动机构包括电机和偏心转轮,所述电机通过所述偏心转轮偏心连接所述连杆机构,所述偏心转轮包括第一转轮、第二转轮和第三转轮,所述第一转轮的一端与所述电机的转轴同轴连接,所述第一转轮的另一端与所述第二转轮偏心连接,所述连杆机构与所述第二转轮相连,所述第三转轮与所述第二转轮偏心连接,所述第二转轮位于所述第一转轮和所述第三转轮之间,以通过人工旋转所述第三转轮驱动所述解锁销钉对版盒进行关锁;

所述连杆机构包括设置于同一平面上的若干传动杆和若干解锁杆,所述解锁杆分别和与其对应设置的所述传动杆相铰接,任意相邻的两根所述传动杆之间相互铰接,所述偏心转轮和其中一所述传动杆相连,每一所述解锁杆上均安装有一所述解锁销钉;

所述驱动机构用于驱动所述第一转轮转动,以带动所述第二转轮偏心旋转,偏心旋转的所述第二转轮驱动所述连杆机构作往复运动,进而带动所述解锁销钉对版盒进行解锁和关锁;

所述连杆机构与所述驱动机构之间满足如下关系:

以使得在非解锁工位断伺服后,所述版盒解锁装置能够自动恢复至关锁工位;其中,n为解锁销钉的个数,F1为所述版盒的锁栓预紧力,L1为所述解锁杆的驱动力臂,L2为所述解锁杆的解锁力臂,h为所述偏心转轮的偏心距,M为所述驱动机构的起始阻力。

2.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述版盒解锁装置还包括安全挡片,所述安全挡片用于在所述版盒处于未解锁状态时承托所述版盒的版盒底座,所述安全挡片与所述连杆机构相连,在所述驱动机构的作用下,所述连杆机构能够带动所述安全挡片靠近和远离所述版盒底座。

3.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述版盒解锁装置还包括用于承载版盒的版盒盖的承载法兰,所述承载法兰安装于所述连杆机构的上方,所述承载法兰上设有与所述解锁销钉相配合的限位孔,所述解锁销钉能够在所述限位孔内往复移动。

4.根据权利要求3所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述承载法兰上设有用于放置版盒盖的凹槽,所述凹槽的底部设有与所述版盒底座相配合的通孔。

5.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述解锁装置还包括第一工位传感器和第二工位传感器,所述第一工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至关锁工位,所述第二工位传感器用于检测所述驱动机构是否运动至解锁工位。

6.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述驱动机构还包括挡板以及与所述挡板相配合的限位件,所述挡板与所述电机的转轴相连,在所述挡板和所述限位件的作用下,所述电机能够驱动所述偏心转轮往返作180°旋转运动。

7.根据权利要求6所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述驱动机构还包括与所述电机的壳体相连的缓冲件,所述缓冲件用于防止所述挡板与所述限位件之间发生碰撞。

8.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,与所述偏心转轮相连的所述传动杆上设有一连接件,所述偏心转轮与所述连接件相连。

9.根据权利要求8所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述连接件上设有与所述偏心转轮相配合的卡口,所述卡口的开口朝向所述偏心转轮所在位置,所述偏心转轮与所述卡口的两侧壁相连。

10.根据权利要求1所述的版盒解锁装置,其特征在于,所述连杆机构包括依次相连的第一传动杆、第二传动杆、第三传动杆和第四传动杆,以及依次设置的第一解锁杆、第二解锁杆、第三解锁杆和第四解锁杆,所述第一传动杆与所述第四传动杆之间平行设置,所述第一解锁杆和所述第二解锁杆均与所述第一传动杆相铰接,所述第三传动杆与所述第四传动杆之间通过所述第三解锁杆相铰接,所述第四解锁杆与所述第四传动杆相铰接。

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