[发明专利]提高前照式图像传感器性能的方法及前照式图像传感器在审

专利信息
申请号: 202010128104.6 申请日: 2020-02-28
公开(公告)号: CN113327950A 公开(公告)日: 2021-08-31
发明(设计)人: 郑展;徐涛 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种提高前照式图像传感器性能的方法,在前照式图像传感器的光路结构中,形成至少有接触孔层金属的环形光学通路,通过光路结构中的若干金属层、接触孔层、多晶硅层的限定,进行光路结构开孔尺寸的组合设计,消除或降低光线发散导致的相邻感光单元的串扰,提高光路结构开孔尺寸的设计容忍度,实现更好的灵敏度。
搜索关键词: 提高 前照式 图像传感器 性能 方法
【主权项】:
暂无信息
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