[发明专利]光学元件散射光束的空间分布检测方法在审
| 申请号： | 202010127810.9 | 申请日： | 2020-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN111207912A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 刘丽红;蔡德宇;曼纽尔·弗利;蒂埃里·恩格尔 | 申请（专利权）人： | 齐鲁工业大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯长明;许伟群 |
| 地址： | 250353 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例提供了一种光学元件散射光束的空间分布检测方法，其特征在于，包括：通过三维光学轮廓仪采集光学元件的三维面型数据；根据所述三维面型数据计算所述光学元件的一维功率谱密度；将所述一维功率谱密度进行二次曲线拟合，得到所述光学元件的二维功率谱密度；根据所述二维功率谱密度计算所述光学元件对应的双向反射分布函数；根据所述双向反射分布函数得到所述光学元件散射光束的三维空间分布。本申请根据光学元件的三维面型数据进行计算得到光学元件散射光束的三维空间分布，得到的三维空间分布准确性高。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 散射 光束 空间 分布 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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