[发明专利]一种刚度可调的气浮导轨在审
| 申请号： | 202010119092.0 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111156249A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 杨光伟;阳红;张敏;王虎;刘有海;戴晓静;孙守利;尹承真 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02;F16C29/00;F16C32/06 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 高俊 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刚度 可调 导轨 | ||
【主权项】：
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