[发明专利]一种刚度可调的气浮导轨

权利要求书

1.一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条(1)及滑块(3)，所述滑块(3)与导轨条(1)之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块(3)支撑在导轨条(1)上侧的第一气膜(8)，其特征在于，还包括电磁铁(2)，所述电磁铁(2)固定在导轨条(1)和/或滑块(3)上，且在电磁铁(2)通电后，电磁铁(2)产生使得导轨条(1)与滑块(3)在竖直方向相互靠拢的磁力。

2.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，在导轨条(1)的宽度方向上，导轨条(1)的左侧和右侧均设置有多个电磁铁(2)；

导轨条(1)左侧的电磁铁(2)沿着导轨条(1)的长度方向依次排布；

导轨条(1)右侧的电磁铁(2)沿着导轨条(1)的长度方向依次排布；

各电磁铁(2)均可独立工作。

3.根据权利要求2所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在滑块(3)上；

所述第一气膜(8)设置在导轨条(1)宽度方向的中部；

滑块(3)的左侧和右侧均设置有一个与滑块(3)侧面相接的凹槽，所述电磁铁(2)安装在所述凹槽中。

4.根据权利要求2所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在滑块(3)上；

所述第一气膜(8)设置在导轨条(1)宽度方向的中部；

电磁铁(2)均通过顶面与滑块(3)的底面固定连接安装于滑块(3)上。

5.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括位移传感器(6)，所述位移传感器(6)用于检测所述第一气膜(8)的气膜厚度。

6.根据权利要求5所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，所述位移传感器(6)的数量为两个，且两个位移传感器(6)以相对之间呈对角布置的方式固定于滑块(3)上。

7.根据权利要求5或6所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括信号输入端与位移传感器(6)信号输出端信号连接的控制系统(7)，所述控制系统(7)用于：通过采集来自位移传感器(6)的气膜厚度数据，控制电磁铁(2)的工作参数。

8.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括包裹在电磁铁(2)上的磁屏蔽套(5)，所述磁屏蔽套(5)为一侧开口的盒体状结构，且在电磁铁(2)与磁屏蔽套(5)形成的组合体中，所述磁屏蔽套(5)的开口侧对应电磁铁(2)在进行导轨条(1)与滑块(3)相互吸引时的工作侧。

9.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，所述滑块(3)为下侧设置有凹槽的块状结构，所述导轨条(1)的横截面呈倒置的T形，且导轨条(1)上侧凸出的部分嵌入所述凹槽中，所述第一气膜(8)位于所述凸起部分顶侧与凹槽底侧之间；

所述气膜间隙还包括两个第二气膜(9)，在导轨条(1)的宽度方向上，所述凸起部分的侧面与凹槽的侧面之间均具有一个第二气膜(9)。

10.根据权利要求9所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，所述电磁铁(2)有多个且为偶数个；

所述导轨条(1)包括导轨基体，所述电磁铁(2)的下端固定于导轨导轨基体上，且电磁铁(2)作为导轨条(1)上的凸出的部分；

电磁铁(2)沿着导轨条(1)长度方向的中心线排列成两列；

两列电磁铁(2)呈线对称关系；

各电磁铁(2)均可独立工作。