[发明专利]MEMS压力传感器装置及封装方法在审
| 申请号： | 202010113124.6 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111157167A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 刘召利 | 申请（专利权）人： | 南京新力感电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/08 | 分类号： | G01L9/08;G01L19/14;G01L19/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 彭琰 |
| 地址： | 210019 江苏省南京市建邺*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种MEMS压力传感器装置及封装方法，该装置包括传感器壳体，在传感器壳体的顶部连接有一盖板，在传感器壳体内设有一信号处理电路板，在信号处理电路板与盖板之间设有一电气连接器，电气连接器通过信号引出引脚延伸出盖板的外表面，在信号处理电路板的上表面设有一MEMS压力芯片组件，MEMS压力芯片组件与信号处理电路板之间电性连接，MEMS压力芯片用于感知外界被测介质的压力。本发明提出的MEMS压力传感器装置，易电路集成、结构小巧，可满足大量程的检测需求，且数据输出精度高。 | ||
| 搜索关键词： | mems 压力传感器 装置 封装 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京新力感电子科技有限公司，未经南京新力感电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010113124.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种上下电梯用负压式隔离装置
- 下一篇：一种家庭餐桌用环保隔味分类垃圾桶
