[发明专利]一种增强PERC背钝化效果的电池制作方法

摘要

本发明公开了一种增强PERC背钝化效果的电池制作方法，其中，制作方法包括打孔、清洗制绒、扩散、正面激光、刻蚀、退火、背面沉积钝化层、正面沉积氮化硅膜、背面开槽、丝网印刷、烧结退火的步骤；本发明在清洗制绒前先在硅片的背面形成若干个孔洞，使背面沉积钝化层时钝化层不仅覆盖在硅片上，还填充到孔洞内，不仅可以增加钝化层的面积，相同的镀膜时间内，沉积的钝化层含量和致密性都会增加，从而提高背钝化效果，提升太阳能电池的转换效率。