[发明专利]掩模组件在审
| 申请号： | 202010079540.9 | 申请日： | 2020-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN111534787A | 公开（公告）日： | 2020-08-14 |
| 发明（设计）人： | 文在晳;安鼎铉;金宗范;李丞赈 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张逍遥;张川绪 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种掩模组件，所述掩模组件包括：框架，其中限定有开口；支撑部分，位于框架上并与开口叠置；以及掩模，位于支撑部分上并覆盖开口的至少一部分。支撑部分可以包括：中心层；第一外层，位于中心层的第一表面上；以及第二外层，位于中心层的第二表面上，第二表面与第一表面相对。 | ||
| 搜索关键词： | 模组 | ||
【主权项】：
暂无信息
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