[发明专利]研磨头、研磨装置以及研磨方法在审
| 申请号： | 202010079381.2 | 申请日： | 2020-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN111590463A | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 林智雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | B24B37/11 | 分类号： | B24B37/11;B24B37/20;B24B37/00;B24B37/34;B24B1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够提高晶片的平坦度的研磨头、研磨装置以及研磨方法。取得示出晶片的位置与高度的关系的高度分布数据，且基于高度分布数据而控制在头主体部的凹部的底面设置的多个压电元件。多个压电元件按照将底面分割为多个而成的区域即分割区域而设置。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社V技术，未经株式会社V技术许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010079381.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：车身结构
- 下一篇：用于排气设备的探针接管
