[发明专利]用于透射电镜原位压力试验的压头及其制作方法有效
申请号: | 202010077750.4 | 申请日: | 2020-01-31 |
公开(公告)号: | CN111272547B | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 聂安民;张奕志;王宏涛 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N3/08 | 分类号: | G01N3/08;G01N3/04;G01N3/06;G01N1/28;B23K10/00 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 制作用于透射电镜原位压力试验的压头的方法,包括获取基棒,选取一颗金刚石颗粒,将金刚石颗粒固定在基棒的端部,待加工压头的金刚石区域裸露,用FIB在金刚石的裸露区域切出直径5~20μm的圆柱;使圆柱与FIB离子束垂直,加工圆柱的压力平面。压头包括棒状基体和固定于基体端部的一颗金刚石颗粒,金刚石颗粒外露于基体的裸露区域具有直径为5~20μm的圆柱凸起,圆柱凸起的端面由FIB加工形成。本发明具有制作工艺简单,加工周期短,节约加工成本的优点。 | ||
搜索关键词: | 用于 透射 原位 压力 试验 压头 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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