[发明专利]蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法有效
| 申请号： | 202010069368.9 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN111188007B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 内田泰弘;松浦幸代;池永知加雄 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法。一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，蒸镀掩模具备：形成有贯通孔的第1面及第2面；一对长侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及一对短侧面，它们与第1面和第2面连接，限定蒸镀掩模在蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，长侧面具有第1部分，第1部分包括：第1端部，其位于第1面侧；和第2端部，其位于第2面侧，且位于比第1端部靠内侧的位置，并且第1部分向内侧凹陷，第1端部与第1面和长侧面相连接的第1连接部一致，第1连接部位于与第1面相同的平面上。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 及其 制造 方法 装置 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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