[发明专利]蒸镀掩模及其制造方法、蒸镀掩模装置以及蒸镀方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，

所述蒸镀掩模具备：

形成有所述贯通孔的第1面及第2面；

一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及

一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，

所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，

所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上，

所述蒸镀掩模包含铁合金，该铁合金含有30质量％以上且54质量％以下的镍。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第1部分位于比通过所述第1端部和所述第2端部的假想的平面或直线靠内侧的位置。

3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述蒸镀掩模的厚度为50μm以下。

4.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第2端部与所述第2面和所述长侧面相连接的第2连接部一致，所述第2连接部位于与所述第2面相同的平面上。

5.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述贯通孔包含：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且在孔连接部处与所述第1凹部连接，

所述第1凹部的壁面的高度为6μm以下。

6.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述贯通孔包含：第1凹部，其形成于所述第1面侧；和第2凹部，其形成于所述第2面侧，且与所述第1凹部连接，

所述第2凹部在所述第2凹部与所述第2面连接的部分处的尺寸比所述第1凹部在所述第1凹部与所述第1面连接的部分处的尺寸大。

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在使蒸镀材料穿过所述蒸镀掩模的所述贯通孔蒸镀到基板上时，所述第1面位于所述基板侧。

8.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在使蒸镀材料穿过所述蒸镀掩模的所述贯通孔蒸镀到基板上时，所述第2面被固定于框架。

9.一种蒸镀掩模的制造方法，在该蒸镀掩模上形成有多个贯通孔，其特征在于，

所述蒸镀掩模的制造方法具备：

准备金属板的工序，所述金属板包括第1面和位于所述第1面的相反侧的第2面；和

加工工序，加工所述金属板而得到所述蒸镀掩模，其中，所述蒸镀掩模具备：

形成有所述贯通孔的所述第1面及所述第2面；

一对长侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的长度方向上的轮廓；以及

一对短侧面，它们与所述第1面和所述第2面连接，限定所述蒸镀掩模在所述蒸镀掩模的宽度方向上的轮廓，

所述长侧面具有第1部分，所述第1部分包括：第1端部，其位于所述第1面侧；和第2端部，其位于所述第2面侧，且位于比所述第1端部靠内侧的位置，并且所述第1部分向内侧凹陷，

所述加工工序具有第2面蚀刻工序，在该第2面蚀刻工序中，从所述第2面侧对所述金属板进行蚀刻而形成所述长侧面的所述第1部分，

以下述方式实施所述第2面蚀刻工序：使所述第1部分的所述第1端部与所述第1面和所述长侧面相连接的第1连接部一致，所述第1连接部位于与所述第1面相同的平面上，

所述金属板包含铁合金，该铁合金含有30质量％以上且54质量％以下的镍。