[发明专利]基板裂纹检测的方法及系统、存储介质在审
| 申请号： | 202010058092.4 | 申请日： | 2020-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN111289610A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 李金财 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/04 | 分类号： | G01N29/04;G01N29/11 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 杨艇要 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板裂纹检测的方法及系统、存储介质，所述基板裂纹检测的方法包括发送步骤、数据库建立步骤、采集步骤、比对步骤以及拦截步骤，本发明通过将获取得到的基板每一行栅极线的周期波形与标准周期波形进行振幅比对，若振幅差值超过一预设值，则判定该基板出现裂纹。进而发送报警信号，停止基板的生产工作并拦截出现裂纹的基板，避免后续基板流入造成机台的污染从而影响产能。 | ||
| 搜索关键词： | 裂纹 检测 方法 系统 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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